Flüssige Präkursor-Lösungen können durch pneumatische Zerstäubung bis auf 1 µm große Tropfen eingestellt werden. Das Zerstäubungsgas ist dabei variabel. Am IMVT stehen verschiedene Atomizer zur Verfügung, von 3 lpm bis 15 lpm mit Tropfengrößen zwischen 1 µm und 10 µm.
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